編號

應用場地

可選裝置

功能

①

新風入口處

側開式凈化機組

去除外部環境進入潔凈室的AMC

②

空調機組內

HJ氣相過濾器

去除外部環境和回風進入潔凈室的AMC

③

FFU處

HJ氣相過濾器

去除送風過程進入潔凈室的AMC

④

潔凈室內

內循環凈化裝置

去除潔凈室內產生的AMC

⑤

回風段

HJ氣相過濾器/側開式凈化機組

去除潔凈室回風段含有的AMC