杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司

 

　　杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司成立于2017年，坐落在杭州市錢塘區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，主要從事高品質(zhì)集成電路用半導(dǎo)體晶圓片的研發(fā)與生產(chǎn)制造。實現(xiàn)了從半導(dǎo)體單晶硅棒拉制到100mm~300mm半導(dǎo)體晶圓片加工的完整生產(chǎn)。擁有9條8英寸生產(chǎn)線、2條技術(shù)成熟的12英寸生產(chǎn)線，具備年產(chǎn)能240萬片/300mm、480萬片/200mm、480萬片/150mm。

 

　　

 

　　半導(dǎo)體生產(chǎn)車間對空氣潔凈技術(shù)提出了高要求，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)良率達(dá)到99.99%。

 

　　解決方案

　　Solutions

 

　　華凈科技?xì)鈶B(tài)污染物AMC空氣過濾解決方案

 

　　面對中欣晶圓對空氣潔凈度的要求，華凈科技通過采樣、現(xiàn)場勘測、技術(shù)診斷，確認(rèn)氣態(tài)污染物主要成分及濃度，有針對性的提出了最優(yōu)的解決方案 - 氣態(tài)污染物AMC空氣過濾解決方案。在保證能耗降低的同時，達(dá)到了最佳過濾效率。

 

　　其中選用了除酸化學(xué)過濾器、除堿化學(xué)過濾器等平板型氣相過濾器。

 

　　并在發(fā)貨前對過濾器進(jìn)行了性能檢測。

 

　　

 

　　FFU氣相過濾器現(xiàn)場安裝示意圖

 

　　平板型氣相過濾器是一種高效去除空氣中顆粒和氣態(tài)分子污染物的復(fù)合式過濾器，廣泛應(yīng)用在AMC污染腐蝕控制工程中，主要搭配風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組（FFU）使用，也可作為送風(fēng)口或回風(fēng)口的化學(xué)過濾組件，復(fù)合式的結(jié)構(gòu)設(shè)計使濾材充分發(fā)揮過濾功能，根據(jù)現(xiàn)場環(huán)境的AMC種類和濃度，定制化設(shè)計過濾材料和框架材料，讓空氣更潔凈。

 

　　

 

　　平板型氣相過濾器

 

　　產(chǎn)品優(yōu)勢：

 

　　① 使用方便，安裝維護(hù)簡單；

 

　?、?高效過率，針對不同污染物定制配方；

 

　?、?低阻力，無遞增壓損，節(jié)能環(huán)保；

 

　?、?無灰塵釋放，具有一定的粉塵過濾效果；

 

　?、?使用壽命長，通過化學(xué)吸附法去除氣態(tài)污染物，氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染，永久去除氣態(tài)污染物。

 

　　華凈科技化學(xué)過濾器檢測平臺專門針對化學(xué)過濾器過濾性能的檢測，通過模擬受控污染環(huán)境內(nèi)過濾器過濾裝置，檢測過濾器在不同污染物濃度環(huán)境下過濾效率、壓阻、容污量、持久性等性能的變化，幫助企業(yè)設(shè)計開發(fā)出高效改善環(huán)境空氣質(zhì)量的過濾產(chǎn)品。符合標(biāo)準(zhǔn)：ISO10121-2、T/CRAA438.2

 

　　

 

　　華凈科技?xì)庀噙^濾器全尺寸檢測臺

 

　　

 

　　經(jīng)檢測合格的氣相過濾器